製品案内
真空計
電離現象に基づく真空計
電離真空計とは気体の電離作用を利用した真空計です。
気体分子を電離させ生成したイオンの数からイオン電流を測定し、圧力を求めます。
B-Aゲージ、三極管型、シュルツゲージは同じ原理で真空度を測定します（熱陰極電離真空計）。
測定したい圧力範囲等に応じた真空計を選定する必要があります。
ペニングゲージ（冷陰極電離真空計）は真空中のペニング放電という現象を利用した真空計です。外部から磁場を印加し電子の飛行距離を長くすることによって低い圧力でも放電を持続させることができます。
B-Aゲージ
10-2〜10-7Pa程度の高真空〜超高真空領域の測定に用いられます。
三極管
10-1〜10-5Pa程度の高真空領域の測定に用いられます。
シュルツゲージ
測定圧力範囲は10〜10-2Pa程度と範囲は狭いですが、特殊フィラメントを使用しているため、ガスとの反応が遅く酸化雰囲気下でも酸化され難い特徴があります。
ペニングゲージ
10Pa〜10-3Pa程度の中真空〜高真空領域の測定に用いられます。熱フィラメントがない為、高寿命なのが特徴ですが測定精度はあまりよくありません。
輸送現象に基づく真空計
気体の熱伝導を利用した真空計です。加熱されたフィラメントの温度が圧力によって変化することを利用し、真空度を表します。
ピラニゲージ
使用するフィラメントにもよりますが大気圧〜10-1Pa程度までの低真空〜中真空領域の測定に用いられます。
部品・加工品
ボタンステム
ピンの配置、線径等形状の変更が可能です。
ピンチャーステム
リード線の径、本数等形状の変更が可能です。
グリッド
巻線はタングステン、モリブデン、Ptクラッドモリブデンを使用しています。巻数、外径等形状の変更が可能です。
フィラメント
真空計のフィラメントは自社で生産しています。条件に応じたフィラメントの生産が可能です。
ガラス加工
取扱いは硬質ガラスとなります。
その他電極部のスポット溶接、継線、組立て等も可能ですのでご相談ください。